LOGOSOL LPA38-3-V40P1-S23-S-V500P巡邊臺,預(yù)對準(zhǔn)器

LOGOSOL LPA38-3-V40P1-S23-S-V500P巡邊臺,預(yù)對準(zhǔn)器

Logosol LPA系列嵌入式預(yù)對準(zhǔn)器

480毫米的對象,具有任何透明度水平,從不透明到完全透明。Logosol獨特一體化設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

Logosol嵌入式預(yù)對準(zhǔn)器:

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計算和角度定位設(shè)備,具有45毫米至480毫米對象的對準(zhǔn)能力,并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。

?美國LOGOSOL預(yù)對準(zhǔn)器?是一種高度集成的設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體制造過程中的晶圓預(yù)對準(zhǔn)。預(yù)對準(zhǔn)器通常集成在更大的設(shè)備或系統(tǒng)中,如涂膠機、光刻機、薄膜沉積設(shè)備和刻蝕設(shè)備等,用于在工藝開始前對晶圓進行快速、精確的對準(zhǔn)?1。

主要型號和功能

LOGOSOL預(yù)對準(zhǔn)器系列包括多個型號,每個型號都有其特定的應(yīng)用場景和技術(shù)特點:

  • ?LPA26-3?:適用于小尺寸晶圓的高精度對準(zhǔn)。
  • ?LPA38-3?:適用于中等尺寸晶圓的高效對準(zhǔn)。
  • ?LPA58-3?:適用于大尺寸晶圓的高精度對準(zhǔn)。
  • ?LPA312-3?:適用于超大尺寸晶圓的對準(zhǔn)。
  • ?LPA812-3?:適用于特大尺寸晶圓的高精度對準(zhǔn)。
  • ?LPA1218-3?:適用于超大型尺寸晶圓的對準(zhǔn)。

這些預(yù)對準(zhǔn)器支持從45毫米到480毫米的各種尺寸晶圓,適用于不同的工藝需求?。

技術(shù)特點和優(yōu)勢

LOGOSOL預(yù)對準(zhǔn)器的技術(shù)特點包括:

  • ?高度集成?:節(jié)省空間,與主設(shè)備共享控制系統(tǒng),實現(xiàn)無縫對接?。
  • ?高精度?:適用于高精度工藝,確保晶圓中心和晶向的精確對準(zhǔn)?。
  • ?多功能控制軟件?:支持與各種半導(dǎo)體平臺的兼容性和接口?。
  • ?快速定位?:在高速生產(chǎn)線中實現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的晶圓定位?。

應(yīng)用場景

LOGOSOL預(yù)對準(zhǔn)器廣泛應(yīng)用于以下半導(dǎo)體設(shè)備中:

  • ?光刻機?:在光刻工藝前確保晶圓中心和晶向的精確對準(zhǔn)?。
  • ?涂膠顯影設(shè)備?:在涂膠和顯影過程中保證晶圓位置的一致性?。
  • ?薄膜沉積設(shè)備?:在沉積工藝前確保晶圓與反應(yīng)腔體的對準(zhǔn)?。
  • ?刻蝕設(shè)備?:在刻蝕工藝中保證晶圓位置和角度的精確對準(zhǔn)?。

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