Logosol邊緣處理預(yù)對準器

創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零夾持力的被動邊緣接觸技術(shù)，是Logosol邊緣夾持預(yù)對準器技術(shù)的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對象時，晶圓不受應(yīng)力影響，保持最大的清潔度。提供標準和高精度型號。

快速更換

高吞吐量的預(yù)對準器，具有基于專有設(shè)計的快速更換功能，允許在銷針水平以下進行晶圓夾具裝載。

Logosol預(yù)對準器選型：