Logosol 晶圓處理平臺包含源自 30 多年半導(dǎo)體自動化經(jīng)驗的各種產(chǎn)品和服務(wù)。技術(shù)范圍從硬件、軟件和機(jī)械設(shè)計到制造、集成和應(yīng)用工程。該公司與晶圓處理機(jī)器人和預(yù)對準(zhǔn)器相關(guān)的設(shè)計解決了半導(dǎo)體晶圓廠中需要直接替換傳統(tǒng)產(chǎn)品的應(yīng)用，以及 OEM 制造商新開發(fā)的資本設(shè)備中的自動化材料處理。這些產(chǎn)品線采用了 Logosol 完全擁有和控制的技術(shù)，包括運動控制電子、晶圓處理固件、軟件工具、實用程序和機(jī)械設(shè)計。整個技術(shù)范圍的可用性允許極高水平的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。
機(jī)器人許可
Logosol 長期以來一直將其用于晶圓處理自動化的專有技術(shù)授權(quán)給各種實體。這些產(chǎn)品包括各種機(jī)器人尺寸和手臂配置，作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分。被許可方受益于公司在半導(dǎo)體自動化方面的廣泛專業(yè)知識、經(jīng)過驗證的產(chǎn)品和解決方案，以及在該領(lǐng)域 30+ 年的專業(yè)知識。我們公司提供全面且高度可定制的統(tǒng)一技術(shù)，涵蓋您項目的各個方面，從機(jī)械設(shè)計到運動控制電子設(shè)備、固件、軟件工具和實用程序。無論您需要簡單還是復(fù)雜的解決方案，我們都可以定制我們的技術(shù)以滿足您的特定要求。您將可以完全控制您的項目，而無需依賴第三方添加。我們的技術(shù)設(shè)計靈活、可擴(kuò)展且可靠，可確保高性能和高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。該公司不僅提供制造許可證和文檔，還提供構(gòu)建整個產(chǎn)品所需的機(jī)器人控制器、電源和特定電子模塊。此外，Logosol 提供最全面的晶圓預(yù)對準(zhǔn)器系列，可與所有獲得許可的晶圓處理機(jī)器人無縫集成。
機(jī)器人控制器
LRC-x31g3 是三軸、四軸和五軸機(jī)器人控制器，帶有集成的 CPU 板和功率放大器，專為需要精確控制旋轉(zhuǎn)或線性無刷電機(jī)的應(yīng)用而設(shè)計。它們可以用作內(nèi)置控制器或外部控制器。LRC-x31g3 通過主機(jī) RS-232 或 10/100 Base-T 以太網(wǎng)接口進(jìn)行控制。其他外部設(shè)備可以使用 Logosol 分布式控制網(wǎng)絡(luò)擴(kuò)展接口無縫連接。LRC-x31g3 配備了各種安全功能，例如輸出和電機(jī)短路保護(hù)、欠壓關(guān)閉和編碼器存在控制、智能停止功能，以避免在機(jī)器外部停止或斷開電源時機(jī)械臂掉落。先進(jìn)的運動控制技術(shù)支持非常高分辨率的編碼器，可實現(xiàn)卓越的多軸軌跡生成。硬件輔助位置鎖定在用于動態(tài)晶圓對準(zhǔn)時提高了精度。
運動控制框架
MCL5 是 Logosol 專有運動控制軟件包的第五代產(chǎn)品，提供特定領(lǐng)域的編程語言和多任務(wù)實時解釋器。這是一個專用于設(shè)計機(jī)器人控制應(yīng)用程序的編程框架。MCL5 可執(zhí)行文件包括運動控制器和 I/O 模塊的集成、各種機(jī)器人運動學(xué)的實現(xiàn)、對復(fù)雜軌跡運動的支持以及系統(tǒng)完整性的監(jiān)控。該可執(zhí)行文件還包括一個實時多任務(wù)腳本解釋器。它允許設(shè)計特定于應(yīng)用程序的腳本，這些腳本可用于協(xié)調(diào)機(jī)器人運動的排序并實施自定義主機(jī)通信協(xié)議。腳本語言由一組保留字定義，并且具有類似于 C 編程語言中的表達(dá)式語法。
