美國(guó)Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
Logosol 久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)和高標(biāo)準(zhǔn)的可靠性是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。Prealigners 產(chǎn)品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級(jí)別。Logosol 獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件實(shí)現(xiàn)了與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的直接兼容性和接口。
自主設(shè)備，用于對(duì)45毫米至480毫米的對(duì)象進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對(duì)象而無(wú)需機(jī)械重新定位、夾具負(fù)載和銷(xiāo)負(fù)載模式以及高精度選項(xiàng)。
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計(jì)算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對(duì)象的對(duì)準(zhǔn)能力，并可輕松與市場(chǎng)上可用的任何機(jī)器人進(jìn)行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項(xiàng)。
