美國Logosol Diamond H5晶圓處理平臺

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺H5系列真空機器人代表了一個重要的晶圓設(shè)計與可靠性的工程進展搬運設(shè)備。得益于技術(shù)先進的組件機器人利用超低慣性、高響應(yīng)無刷伺服電機與零間隙Harmonic Drive?耦合齒輪，大大提高了靈巧性和精度。創(chuàng)新的一體式設(shè)計融入了運動控制器、伺服放大器和電源機器人的行業(yè)標準足跡。高強度結(jié)構(gòu)件可安裝在以下任一位置法蘭的頂面或底面，不影響系統(tǒng)剛性?？陕?lián)網(wǎng)RS-485和以太網(wǎng)接口互補標準RS-232和示教器連接。強大的原生晶圓處理和腳本語言促進嵌入式軟件的快速開發(fā)將機器人引入OEM應(yīng)用環(huán)境。傳統(tǒng)機器人“宏”命令的綜合仿真兼容性下降。

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺特征：

模塊化和高度可定制的設(shè)計

完全集成的運動控制器、伺服放大器和電源

高響應(yīng)無刷電機和精確的零間隙

Harmonic Drive?齒輪主機的標準RS-232接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口

先進的32位實時運動控制內(nèi)核

強大的晶圓處理固件

全面的軟件工具和實用程序

傳統(tǒng)機器人宏命令的軟件仿真

可選示教器終端

用于定制用途的通用數(shù)字輸入和輸出可靠性——MTBF>60000小時

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺規(guī)格：