代理Logosol LPA812EH-3-RETV1-S38-S邊緣與預(yù)對準器,巡邊臺

代理Logosol LPA812EH-3-RETV1-S38-S邊緣與預(yù)對準器,巡邊臺

Logosol經(jīng)久考驗的技術(shù)和高可靠性的標準是其最廣泛系列預(yù)對準器的基礎(chǔ)。Prealigners產(chǎn)品家族支持處理45mm至480mm范圍內(nèi)的物體,無論其透明度從不透明到完全透明。Logosol獨特的集成設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

📦?二、主要產(chǎn)品系列及型號

LOGOSOL預(yù)對準器按應(yīng)用場景分為三大系列:

1.LOGOSOL 邊緣處理系列(Edge-Grip)

  • 技術(shù)特點

    • 被動邊緣接觸技術(shù),零機械應(yīng)力,避免晶圓損傷。

    • 支持透明度從不透明到全透明的晶圓1。

  • 適用尺寸:75mm–300mm晶圓。

  • 典型型號
    LPA6EH-3,?LPA8EH-3,?LPA68EH-3,?LPA8ET-3,?LPA12ET-3,?LPA812EH-3。

  • 應(yīng)用場景:碳化硅/氮化鎵晶圓制造、高潔凈度要求的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線。

2. LOGOSOL獨立式系列(Standalone)

  • 技術(shù)特點

    • 單機處理方形、雙層基板及圓形晶圓,支持45mm–480mm超大尺寸范圍。

    • 無需機械重定位,通過軟件切換尺寸,提升柔性生產(chǎn)效率。

  • LOGOSOL典型型號
    LPA26-3,?LPA38-3,?LPA58-3,?LPA312-3,?LPA812-3,?LPA1218-3

  • 應(yīng)用場景:研發(fā)實驗室、多尺寸晶圓試產(chǎn)線、光伏基板定位。

3. LOGOSOL嵌入式系列(Embedded)

  • 技術(shù)特點

    • 專為高速晶圓傳輸系統(tǒng)優(yōu)化,低成本集成中心計算與角度定位功能。

    • 提供高精度選件及定制夾具尺寸,兼容主流工業(yè)機器人。

  • LOGOSOL典型型號
    LPA25-1E,?LPA38-1E,?LPA58-1E,?LPA312-1E,?LPA812-1E,?LPA1218-1E。

  • 應(yīng)用場景:半導(dǎo)體量測設(shè)備(如日立CD-SEM)、自動化晶圓搬運系統(tǒng)改造


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