美國(guó)LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器?是一種高度集成的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體制造過程中的晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)。預(yù)對(duì)準(zhǔn)器通常集成在更大的設(shè)備或系統(tǒng)中，如涂膠機(jī)、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備和刻蝕設(shè)備等，用于在工藝開始前對(duì)晶圓進(jìn)行快速、精確的對(duì)準(zhǔn)?1。

主要型號(hào)和功能

LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列包括多個(gè)型號(hào)，每個(gè)型號(hào)都有其特定的應(yīng)用場(chǎng)景和技術(shù)特點(diǎn)：

• ?LPA26-3?：適用于小尺寸晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)。
• ?LPA38-3?：適用于中等尺寸晶圓的高效對(duì)準(zhǔn)。
• ?LPA58-3?：適用于大尺寸晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)。
• ?LPA312-3?：適用于超大尺寸晶圓的對(duì)準(zhǔn)。
• ?LPA812-3?：適用于特大尺寸晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)。
• ?LPA1218-3?：適用于超大型尺寸晶圓的對(duì)準(zhǔn)。

這些預(yù)對(duì)準(zhǔn)器支持從45毫米到480毫米的各種尺寸晶圓，適用于不同的工藝需求?。

技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的技術(shù)特點(diǎn)包括：

• ?高度集成?：節(jié)省空間，與主設(shè)備共享控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無縫對(duì)接?。
• ?高精度?：適用于高精度工藝，確保晶圓中心和晶向的精確對(duì)準(zhǔn)?。
• ?多功能控制軟件?：支持與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口?。
• ?快速定位?：在高速生產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的晶圓定位?。

應(yīng)用場(chǎng)景

LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器廣泛應(yīng)用于以下半導(dǎo)體設(shè)備中：

• ?光刻機(jī)?：在光刻工藝前確保晶圓中心和晶向的精確對(duì)準(zhǔn)?。
• ?涂膠顯影設(shè)備?：在涂膠和顯影過程中保證晶圓位置的一致性?。
• ?薄膜沉積設(shè)備?：在沉積工藝前確保晶圓與反應(yīng)腔體的對(duì)準(zhǔn)?。
• ?刻蝕設(shè)備?：在刻蝕工藝中保證晶圓位置和角度的精確對(duì)準(zhǔn)?。

LOGOSOL LPA38-3-V40P1-S23晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器