代理Logosol LPA812-1E-V76P1-S23-S Prealigners尋邊臺(tái)
LOGOSOL LPA SERIES?PREALIGNERS產(chǎn)品選型:
LOGOSOL主要產(chǎn)品系列及型號(hào)
LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器按應(yīng)用場(chǎng)景分為三大系列:
1.LOGOSOL 邊緣處理系列(Edge-Grip)
技術(shù)特點(diǎn):
被動(dòng)邊緣接觸技術(shù),零機(jī)械應(yīng)力,避免晶圓損傷。
支持透明度從不透明到全透明的晶圓1。
適用尺寸:75mm–300mm晶圓。
典型型號(hào):
LPA6EH-3
,?LPA8EH-3
,?LPA68EH-3
,?LPA8ET-3
,?LPA12ET-3
,?LPA812EH-3
。應(yīng)用場(chǎng)景:碳化硅/氮化鎵晶圓制造、高潔凈度要求的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線。
2. LOGOSOL獨(dú)立式系列(Standalone)
技術(shù)特點(diǎn):
單機(jī)處理方形、雙層基板及圓形晶圓,支持45mm–480mm超大尺寸范圍。
無(wú)需機(jī)械重定位,通過(guò)軟件切換尺寸,提升柔性生產(chǎn)效率。
LOGOSOL典型型號(hào):
LPA26-3
,?LPA38-3
,?LPA58-3
,?LPA312-3
,?LPA812-3
,?LPA1218-3
。應(yīng)用場(chǎng)景:研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、多尺寸晶圓試產(chǎn)線、光伏基板定位。
3. LOGOSOL嵌入式系列(Embedded)
技術(shù)特點(diǎn):
專為高速晶圓傳輸系統(tǒng)優(yōu)化,低成本集成中心計(jì)算與角度定位功能。
提供高精度選件及定制夾具尺寸,兼容主流工業(yè)機(jī)器人。
LOGOSOL典型型號(hào):
LPA25-1E
,?LPA38-1E
,?LPA58-1E
,?LPA312-1E
,?LPA812-1E
,?LPA1218-1E
。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備(如日立CD-SEM)、自動(dòng)化晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)改造