我們堅(jiān)固耐用、廣受歡迎的離子源設(shè)計(jì)用于通過(guò)離子濺射清潔表面，離子束能量高達(dá) 3 keV，典型離子電流高達(dá) 30 μA。該噴槍采用一種新穎的氣體噴射系統(tǒng)，允許在 1 x 10 的典型腔室壓力下進(jìn)行濺射-6托。
- 獲得專利的氣體注入系統(tǒng)避免了昂貴的差速泵送設(shè)備
- 在低腔室壓力下濺射惰性氣體
- 寬離子束確保均勻?yàn)R射
- 與一般濺射清洗和 ISS 應(yīng)用兼容
- 200 V 至 3 kV 的連續(xù)可調(diào)光束電壓
- 帶 USB 或以太網(wǎng)接口的數(shù)字控制電子元件
