EG3000 系列

一種用途廣泛的電子源，適用于各種表面分析應(yīng)用，如俄歇電子能譜、電子散射和衍射實(shí)驗(yàn)以及電荷中和。

• 在 50-3000eV 范圍內(nèi)工作
• 與 AES、電荷中和其他表面分析應(yīng)用兼容
• 適用于小光斑應(yīng)用的自動對焦模式
• 用于寬光束應(yīng)用的散焦模式
• 完全兼容 UHV 且可烘烤
• 一體式磁屏蔽