能量范圍:?10?eV?to?1500?eV

束流范圍和光斑尺寸:?標(biāo)準(zhǔn)：1nA到100μA/1mm到100mm。或者采用高流量模式：1nA到1mA/3mm到100mm
安裝方式:?2?CF法蘭，可拆卸選項(xiàng)
特點(diǎn)：窄角梁或者闊角梁，電子聚焦，撓曲、光柵、脈沖

可選陰極：標(biāo)準(zhǔn)鉭，氧化釔，氧化鋇，或者高通量的氧化釔（1mA，必須增加附件）

插入深度：標(biāo)準(zhǔn)160mm，200mm，或客戶定制

其他定制需求：高通量選擇（1mA），雙光柵脈沖，脈沖俘獲（須脈沖發(fā)生器）