描述
中等能量, 高級(jí)光學(xué), 小光斑尺寸電子束
1 keV 至 30 keV
應(yīng)用:
功能/選項(xiàng):
- 全新模塊化設(shè)計(jì)
- 支持照片發(fā)射(View Port 位于用戶(hù)外部光源的位置)
- 運(yùn)行時(shí)的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)
- 四極桿對(duì)準(zhǔn)
- 八極桿偏轉(zhuǎn) / 光柵 / 柱頭
- 聚焦鏡頭
- 光束消隱
- 直列法拉第杯
- 內(nèi)部磁屏蔽
- 差速泵送
- 小光斑低至 25 μm
- 束流 1 nA 至 10 uA
- UHV 兼容 / 可烘烤
- 電腦/遙控器
- 用戶(hù)可更換的點(diǎn)火裝置
能量范圍:1 keV 至 30 keV
光束電流:1 nA 至 10 μA
光斑尺寸:25 μm 至 500 μm
安裝:4.5“ (41/2”) CF
EMG-4193 電子槍帶有匹配的 EGPS-4190 電源和 COPS-4190 柱光學(xué)裝置,是一個(gè)完整的子系統(tǒng),可隨時(shí)連接到用戶(hù)的真空系統(tǒng)??蛇x的光發(fā)射可以通過(guò)系統(tǒng)的獨(dú)特視窗聚焦用戶(hù)提供的電磁輻射源來(lái)實(shí)現(xiàn)。EMG-4193 可以傳輸能量為 1 keV 至 30 keV、電流為 1 nA 至 10 μA 的電子。該槍使用 (LaB6) 陰極提供低至 25 μm 的小光斑,使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)千小時(shí)。光束也可以光柵化以對(duì)目標(biāo)進(jìn)行成像。應(yīng)用包括表面物理學(xué)和真空物理學(xué)實(shí)驗(yàn)。
該噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件包括兩個(gè)聚焦透鏡以及三個(gè)四極對(duì)準(zhǔn)元件和兩個(gè)八極偏轉(zhuǎn)元件。該噴槍還具有可調(diào)節(jié)的饋入組件,允許在噴槍運(yùn)行時(shí)對(duì)射擊裝置進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。
該槍有一個(gè)空白元件,可將電子束轉(zhuǎn)移到直列法拉第杯中。該系統(tǒng)用于測(cè)量塔中的光束電流。下料器提供了一種在噴槍運(yùn)行時(shí)切斷光束的方法,也可用于脈沖。
其他信息:
重量 | 0.55 磅 |
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最大光束電流 | 10μA |
最小束流 | 1 毫安 |
強(qiáng)調(diào)的搜索詞 | 電子槍系統(tǒng) |
最大能量范圍 | 30keV |
能量范圍 min | 1keV |
安裝 | 41/2 立方英尺 |
最大光斑尺寸 | > 500 毫米 |
光斑尺寸 min | 25微米 |
子名稱(chēng) | 電子槍系統(tǒng):1 keV 至 30 keV |