EFG-7 / EGPS-2017

能量范圍：?50 eV 至 5k eV
光束電流：?1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?1 mm 至 100 mm
安裝：?2?CF，可拆卸選項(xiàng)
特性/選項(xiàng)：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖