美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-8201 / EGPS-8201

美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-8201 / EGPS-8201

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：

1，氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴(kuò)散，最小真空度 1×10-7托爾）

2，釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅(jiān)固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）

3，鉭盤陰極

4，單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

高能系統(tǒng)，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)高能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

高能電子槍系統(tǒng) （< 100 keV）

型號(hào) #： EGH-8201 EGPS-8201

描述

可聚焦、高能電子束，具有高達(dá) 20 mA 脈沖的高電流密度

10 keV 至 100 keV

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 高光束電流，高達(dá) 20 mA 脈沖
  • 光斑尺寸低至 1 mm
  • 靜磁聚焦
  • 靜磁偏轉(zhuǎn)（可選）
  • 脈沖能力
  • 運(yùn)行期間的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)
  • 電腦 / 遙控器
  • 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
  • 差速泵送

能量范圍：10 keV 至 100 keV
束流：10 nA 至 1 mA（脈沖至 20 mA）
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安裝：6.0“ CF

Kimball Physics EGH-8201 電子槍及其匹配的 EGPS-8201 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8201 具有大電流、脈沖應(yīng)用，可用于空間材料測(cè)試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線生成和等離子體激發(fā)。

該槍使用難熔金屬盤陰極產(chǎn)生高能量、大電流、可聚焦的電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA 和高達(dá) 20 mA 的脈沖。電子束通過輸入信號(hào)向控制網(wǎng)格發(fā)射。

噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 1 mm 到 100 mm 不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉(zhuǎn)功能提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長(zhǎng)。

該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對(duì)于陽極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開的情況下運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)完成。


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