美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-8103 / EGPS-8103
Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開(kāi)。
許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。
我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：
Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。
高能系統(tǒng)，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。
下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)高能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。
高能電子槍系統(tǒng) （< 100 keV）
描述
可聚焦、高能電子束，小光斑尺寸選項(xiàng)可達(dá) 60 μm
10 keV 至 100 keV
應(yīng)用：
- 一般真空物理學(xué)
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導(dǎo)體研究
- 生物標(biāo)本照射
- X 射線生成
- 血漿激發(fā)
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項(xiàng)：
- 小光斑尺寸低至 60 μm
- 光束電流高達(dá) 1 mA
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉(zhuǎn)
- 磁性透鏡
- 脈沖能力
- 運(yùn)行期間的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)
- 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
- 電腦 / 遙控器
- 差速泵送
能量范圍：10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 100 μA / 標(biāo)準(zhǔn)：60 μm 至 10 mm
大電流：10 nA 至 1 mA / 大電流：500 μm 至 10 mm
安裝：6.0“ CF 安裝
Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開(kāi)。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8103 可用于空間材料測(cè)試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過(guò)控制網(wǎng)格的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖傳輸。
該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對(duì)于陽(yáng)極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開(kāi)的情況下運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)完成。
噴槍設(shè)計(jì)為源區(qū)域提供差動(dòng)泵送，源室上有一個(gè) 4.5 英寸 CF 法蘭，用于連接渦輪分子泵。有三個(gè) 2.75 英寸 CF 法蘭，用于電離計(jì)和其他選項(xiàng)。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上，插入長(zhǎng)度為零，即不會(huì)延伸到真空室中。
