美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量（最大 30 keV),EGH-8201 / EGPS-8201
Kimball Physics 是電子槍（束）系統(tǒng)的領(lǐng)先供應(yīng)商，其設(shè)計(jì)適用于各種超高真空 （UHV） 表面物理、空間物理和加工應(yīng)用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射線生產(chǎn)、焊接和 RHED 等應(yīng)用;或用于泛光束，用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。
操作范圍
- 能量范圍：1 eV 至 100 keV
- 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流穩(wěn)定性：反饋穩(wěn)定發(fā)射電流控制;優(yōu)于每小時(shí) ± 0.1%
- 能量穩(wěn)定性：±每小時(shí) 0.01%，全輸出時(shí)每 8 小時(shí)± 0.02%，以最大限度地減少色差
方便
- 客戶可更換的點(diǎn)火裝置
- 全運(yùn)行期間的機(jī)械對中
- 可存儲控件設(shè)置
- 電腦遙控器/計(jì)量
運(yùn)營能力
描述
可聚焦、高能電子束，具有高達(dá) 20 mA 脈沖的高電流密度
10 keV 至 100 keV
應(yīng)用：
- 一般真空物理學(xué)
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導(dǎo)體研究
- 生物標(biāo)本照射
- X 射線生成
- 血漿激發(fā)
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項(xiàng)：
- 高光束電流，高達(dá) 20 mA 脈沖
- 光斑尺寸低至 1 mm
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉(zhuǎn)（可選）
- 脈沖能力
- 運(yùn)行期間的內(nèi)部對準(zhǔn)
- 電腦 / 遙控器
- 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
- 差速泵送
能量范圍：10 keV 至 100 keV
束流：10 nA 至 1 mA（脈沖至 20 mA）
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安裝：6.0“ CF
Kimball Physics EGH-8201 電子槍及其匹配的 EGPS-8201 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8201 具有大電流、脈沖應(yīng)用，可用于空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線生成和等離子體激發(fā)。
該槍使用難熔金屬盤陰極產(chǎn)生高能量、大電流、可聚焦的電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA 和高達(dá) 20 mA 的脈沖。電子束通過輸入信號向控制網(wǎng)格發(fā)射。
噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 1 mm 到 100 mm 不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉(zhuǎn)功能提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長。
該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對于陽極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對準(zhǔn)。這種對準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開的情況下運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)完成。
