EGF-3104 / EGPS-3104

能量范圍：?200 eV 至 20 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：1 nA 至 100 μA/15 mm 至 50 mm
高電流：10 nA 至 1 mA/15 mm 至 50 mm
安裝：?2?CF
特性/選項：可調(diào)光束對準、廣角均勻光束、發(fā)散控制、磁偏轉(zhuǎn)、光束清洗、自定義孔徑、脈沖、雙網(wǎng)格