瑞士idonus UV-LED曝光系統(tǒng)UV-EXP系列
Idonus UV-EXP系列提供了一種創(chuàng)新的紫外線照明系統(tǒng)，該系統(tǒng)基于高功率led和高級(jí)均化光學(xué)器件的使用。該產(chǎn)品線應(yīng)用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化)，適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種襯底和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)紫外線照明產(chǎn)品系列解決了300毫米(11.8英寸)寬的掩模和晶片的光刻需求。系列提供了一種創(chuàng)新的紫外線照明系統(tǒng)，該系統(tǒng)基于高功率led和高級(jí)均化光學(xué)器件的使用。該產(chǎn)品線應(yīng)用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化)，適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種襯底和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)紫外線照明產(chǎn)品系列解決了300毫米(11.8英寸)寬的掩模和晶片的光刻需求。
為什么選擇LED技術(shù)？
直到最近，汞弧燈是唯一能夠提供適用于UV光刻曝光的高強(qiáng)度光的光源。由于LED技術(shù)的進(jìn)步，UV-LED已經(jīng)成為危險(xiǎn)且耗能的汞燈的非常有吸引力的替代品。
除了生態(tài)和安全方面，與傳統(tǒng)的汞燈相比，UV-led的技術(shù)優(yōu)勢(shì)對(duì)于光刻來(lái)說(shuō)是眾多且重要的。紫外發(fā)光二極管的一個(gè)最大優(yōu)點(diǎn)是，它們?cè)诤荛L(zhǎng)的壽命內(nèi)以一致的發(fā)射工作。因此，不需要日常校準(zhǔn)和維護(hù)。此外，由于能效更高，led減少了發(fā)熱，從而大大簡(jiǎn)化了系統(tǒng)冷卻。
值得注意的是，發(fā)射365納米、405納米和435納米(峰值波長(zhǎng))的發(fā)光二極管可以組合起來(lái)模擬汞弧燈的UV-A光譜(i-line,?h線和g線汞元素的特征峰)，可以看出在這個(gè)圖表中
UV-LED曝光的好處
- 穩(wěn)定的照明，無(wú)需每日校準(zhǔn)
- 瞬間接通，光只在曝光時(shí)打開(kāi)，不需要機(jī)械快門(mén)
- 長(zhǎng)壽命，意味著不再需要耗材
- 專一性的:不會(huì)對(duì)襯底產(chǎn)生不必要的加熱，工藝可重復(fù)程度更高
- 低功耗
- 沒(méi)有維護(hù)成本
idonus UV-LED曝光系統(tǒng)
idonus推出了完整的UV-LED曝光產(chǎn)品系列。我們的系統(tǒng)集成了市場(chǎng)上最有效的UV-led和高級(jí)微透鏡陣列。它們完全在內(nèi)部組裝和控制。我們的設(shè)計(jì)采用了全遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，可在整個(gè)曝光區(qū)域提供可重復(fù)且均勻的照明條件即具有非常小的發(fā)散角的高度均勻和穩(wěn)定的強(qiáng)度。這種尖端光學(xué)器件確保整個(gè)基板完全均勻曝光，產(chǎn)生具有直側(cè)壁的固化光刻膠，并實(shí)現(xiàn)具有微米臨界尺寸的圖案的精確微結(jié)構(gòu)。
| Model | Wavelength | Useful exposure area | Irradiance, Ee | Non-uniformity, C * | αFWHM | WD ** | External dimensions, mm3 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| @385/395/405 nm | @365 nm | (lamphouse only) | (complete system) | ||||||
| UV-LAB100R | 365 nm | ? 100 mm | — | 12 mW/cm2 | 5% | ±2° | 250 mm | 200×250×400 | 250×300×670 |
| UV-EXP150R | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | ? 150 mm | 50 mW/cm2 | 40 mW/cm2 | 3% | ±1.8° | 350 mm | 610×305×250 | 1000×480×330 |
| UV-EXP150S | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 150×150 mm2 | 50 mW/cm2 | 40 mW/cm2 | 3% | ±1.8° | 300 mm | 600×360×300 | 960×500×420 |
| UV-EXP200R | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | ? 200 mm | 30 mW/cm2 | 25 mW/cm2 | 3% | ±1.4° | 400 mm | 730×415×360 | 1170×570×530 |
| UV-EXP200S | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 200×200 mm2 | 30 mW/cm2 | 25 mW/cm2 | 3% | ±1.4° | 400 mm | 730×415×360 | 1170×570×530 |
| UV-EXP300S-1LE | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 300×300 mm2 | 17 mW/cm2 | 13 mW/cm2 | 3% | ±1.0° | 300 mm | 920×560×510 | 1270×715×700 |
| UV-EXP300S-3LE | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 300×300 mm2 | 50 mW/cm2 (3 LEDs) | 40 mW/cm2 (3 LEDs) | 3% | ±2.5° | 300 mm | 920×560×510 | 1270×715×700 |
| UV-EXP600S | 365 and/or 385 / 395 / 405 / 435 nm | 600×600 mm2 | 30 mW/cm2 (multiple LEDs) | 20 mW/cm2 (multiple LEDs) | 3% | ±2.0° | 300 mm | 1500×1100×900 | *** |
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