L系列電動與氣動微型線性運動裝置技術(shù)規(guī)格
密封結(jié)構(gòu)：焊接波紋管
真空接觸材料：不銹鋼
溫度參數(shù)：
烘烤溫度：200°C（最高，需拆除電機時）
工作溫度范圍：
電動型：-20°C 至 80°C
氣動型：-20°C 至 150°C
壓力范圍：常壓至 1×10?11 Torr
負載能力：
最大軸向負載：
電動型：10 磅（4.5 公斤）同心負載
氣動型：25 磅（11.3 公斤）同心負載
最大側(cè)向負載：5 磅（1.36 公斤）@縮回位置末端
精度參數(shù)：
線性刻度分辨率：0.05 英寸（1 毫米）
表盤分辨率：0.002 英寸（0.05 毫米）
電動型精度：51,200 微步/轉(zhuǎn)
步進電機：1.8°/整步
機械參數(shù)：
螺紋導程：每轉(zhuǎn) 0.05 英寸（1.3 毫米）
氣動執(zhí)行器參數(shù)：
接口尺寸：1/8″ NPT
驅(qū)動方式：雙作用氣缸
氣壓要求：最大 100psi（6.9 bar）
Huntington旋轉(zhuǎn)運動裝置、Huntington直線運動裝置、Huntington磁力傳輸裝置、Huntington超高真空組件、Huntington超高真空運動與定位裝置、Huntington運動傳遞裝置
