美國GetControl Tri-Axial Accelerometer振動測試儀,用于200mm和300mm晶圓廠

AMHS和輸送機(jī)制造商使用三軸加速度計(jì)測試工具來量化和確認(rèn)其系統(tǒng)在開發(fā)、安裝和維護(hù)期間的振動特性。該行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工具被200mm和300mm晶圓廠用來測量其物料處理系統(tǒng)對晶圓批料引起的振動。通過檢測軌道偏移的早期跡象，系統(tǒng)可以被維護(hù)以盡量減少對晶圓批料的振動。?三軸加速度計(jì)測試工具可以作為獨(dú)立單元使用或與GCI信息中心結(jié)合使用，以自動記錄并提供位置數(shù)據(jù)，由AMHS車輛提供。

GCI的三軸加速度計(jì)測試工具為AMHS供應(yīng)商和最終用戶提供了一種精確的振動測量解決方案。該工具在自動或手動運(yùn)輸過程中同時(shí)獲取和記錄X、Y和Z軸的振動數(shù)據(jù)。

GetControl三軸加速度計(jì)測試工具由電池供電，自給自足。適配板包括用于將工具牢固安裝在300mm FOUP內(nèi)。對于200mm應(yīng)用，可訂購選項(xiàng)安裝板，將工具牢固安裝在200mm晶圓架內(nèi)。LCD顯示屏和鍵盤提供配置選項(xiàng)的訪問。

機(jī)載數(shù)據(jù)壓縮

該Get Control三軸加速度計(jì)測試工具實(shí)時(shí)對每個(gè)軸上的512個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行數(shù)據(jù)壓縮。提供幾種數(shù)據(jù)壓縮選項(xiàng)，包括RMS、峰值、峰值頻率和真RMS。每個(gè)軸上的數(shù)據(jù)壓縮在每半秒內(nèi)進(jìn)行（使用FFT），每種壓縮類型每秒產(chǎn)生兩個(gè)壓縮數(shù)據(jù)點(diǎn)。記錄容量受壓縮類型限制（最多兩到六小時(shí)）。

減少后的數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部SD卡上。在上傳到PC進(jìn)行分析之前，可以存儲多個(gè)記錄會話。提供RS-232端口，通過InfoCenter桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)（聯(lián)系GCI）。

時(shí)域記錄選項(xiàng)

該Get Control三軸加速度計(jì)測試工具可以選配時(shí)域記錄?選項(xiàng)，該選項(xiàng)將時(shí)域數(shù)據(jù)記錄到安全數(shù)字（SD）存儲卡中。使用此選項(xiàng)，三軸加速度計(jì)測試工具每軸每秒直接記錄512個(gè)時(shí)域數(shù)據(jù)點(diǎn)到安裝的SD卡上。記錄容量受限于SD卡可用空間（最多6小時(shí)）。數(shù)據(jù)縮減在PC上通過GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop應(yīng)用程序提供。

VibPlot 分析應(yīng)用程序

VibPlot?提供了對記錄的時(shí)間域數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分析的工具。?VibPlot?復(fù)制了 Get Control三軸加速度計(jì)測試工具?中的機(jī)載數(shù)據(jù)減少功能，并提供了額外的分析功能，例如三維瀑布圖和顏色頻譜圖。時(shí)間域數(shù)據(jù)可以與減少數(shù)據(jù)（RMS、峰值、真RMS）和每個(gè)半秒間隔的FFT結(jié)果一起顯示。