Beam Imaging介紹了新型磁屏蔽FC-1法拉第杯。這款小巧易用的系統(tǒng)可連接到標(biāo)準(zhǔn)的2.75英寸(69.8毫米)conflat端口。FC-1旨在通過(guò)使用磁場(chǎng)過(guò)濾掉可能進(jìn)入杯中的電子來(lái)精確測(cè)量離子源的初級(jí)正離子束電流?？梢酝ㄟ^(guò)移除過(guò)濾磁鐵來(lái)測(cè)量電子束。對(duì)于離子束來(lái)說(shuō)，法拉第杯收集器被輕微地正向偏置，以抑制二次電子發(fā)射，并且還拒絕由與一次離子束和背景氣體原子的電荷交換碰撞產(chǎn)生的低能離子。用連接到50歐姆BNC真空饋通的靜電計(jì)測(cè)量束流。法拉第杯底部的屏蔽裙可防止靜電計(jì)測(cè)量到未通過(guò)杯孔進(jìn)入的電子或離子電流，并防止將收集器與地隔離的陶瓷濺射。法拉第杯也可單獨(dú)購(gòu)買，帶有UHV兼容同軸電纜，用于需要遠(yuǎn)程束流測(cè)量的應(yīng)用。
電子濾波和二次電子抑制
許多離子束系統(tǒng)結(jié)合離子源使用電子源來(lái)中和在靶上積累的離子電荷，并最小化由于離子的空間電荷引起的離子束擴(kuò)散。電子也存在于真空室中，來(lái)自電離真空計(jì)和來(lái)自離子束與真空系統(tǒng)中部件的表面散射的二次電子發(fā)射。為了過(guò)濾來(lái)自法拉第杯內(nèi)部離子收集器的這些電子，在法拉第杯入口處使用了一對(duì)永久磁鐵。這些磁鐵在杯子入口建立了一個(gè)磁場(chǎng)，捕獲并阻止電子進(jìn)入杯子。通過(guò)向收集器施加小的正偏壓，通過(guò)與一次離子束碰撞而在收集器處產(chǎn)生的二次電子被吸回到收集器。
低能離子過(guò)濾
當(dāng)一次離子與背景氣體原子碰撞時(shí)，產(chǎn)生低能離子。在這種非彈性碰撞過(guò)程中，離子的電荷和大部分動(dòng)能被轉(zhuǎn)移到氣體原子(電荷交換),留下的合成離子的動(dòng)能比原來(lái)的一次離子少得多。通過(guò)將收集器偏置到比排斥進(jìn)入的一次離子束所需的電勢(shì)小得多的正電勢(shì)，低能電荷交換離子可以在收集器處被排斥，并被排斥到法拉第杯室的接地壁。低能離子對(duì)總的一次離子束電流的貢獻(xiàn)通常非常小，但是隨著背景氣壓和法拉第杯到離子源的距離而變化，并且可能對(duì)真實(shí)的一次離子束電流引入顯著的誤差。
| Aperture | 0.25″ (6.35mm) |
|---|---|
| Input | Max. 2W continuous |
| Max Operating Temperature | 350C |
| Flange Mount | 2.75″ (69.8mm) conflat flange mount |
| Feedthrough | 50 Ohm, BNC |
| Grounding | Faraday Cup Housing and shield is grounded to conflat flange in standard form |
| Vacuum | UHV compatible to 1E-10 torr |
| 模型 | FC-1/LF Faraday Cup, FC-1 Faraday Cup, FC-1/OPT01 Faraday Cup, FC-1/OPT02 Graphite Insert for Collector, FC-1/OPT03 Flexible Shielded wire assembly |
- OPT01，法拉第杯，帶UHV兼容同軸電纜和饋通組件
- OPT02，光圈:客戶指定
- OPT03，收集器:石墨插件
FC-1法拉第杯、BIS低能離子過(guò)濾、BIS新型磁屏蔽FC-1法拉第杯、BIS法拉第杯、BIS電子濾波、BIS離子束擴(kuò)散、BIS離子束電流、BIS離子束系統(tǒng)、BIS離子源
