一個(gè)大的垂直掃描范圍允許測(cè)量各種幾何類(lèi)型和形式。其中，使用的領(lǐng)域包括壓盤(pán)檢查、瀝青測(cè)量、渦輪機(jī)或轉(zhuǎn)子葉片的質(zhì)量保證、鋼鐵和車(chē)身部件的三維測(cè)量。
技術(shù)規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
| 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) | 非接觸，光學(xué)，立體三維，基于Focus Variation 自動(dòng)變焦技術(shù) |
| 定位量 (X x Y x Z) | 50 mm x 50 mm x 25 mm = 62500mm3 |
物鏡參數(shù)
| 物鏡放大倍數(shù) | | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |
| 工作距離 | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 33.5 | 20 | 13 | |
| 橫向測(cè)量范圍 (X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 5 | 2 | 1 | 0.4 | |
| (X x Y) | mm2 | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 25 | 4 | 1 | 0.16 | |
| 垂直分辨率 | nm | 150 | 75 | 50 | 3500 | 430 | 170 | 90 | 70 | |
| 最小測(cè)量表面粗糙度 (Ra) | μm | 0.55 | 0.25 | 0.2 | 未知 | 未知 | 0.65 | 0.3 | 0.25 | |
| 最小測(cè)量表面粗糙度 (Sa) | μm | 0.30 | 0.15 | 0.1 | 未知 | 未知 | 0.35 | 0.15 | 0.15 | |
| 最小測(cè)量半徑 | μm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 5 | 3 | 2 |
