美國API ADVANCED PHOTONICS氣體凈化器準分子激光氣體凈化器C-2000

API 是以下工藝技術(shù)開發(fā)領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者 用于高級氣體凈化產(chǎn)品。API 凈化器滿足 滿足各種高科技行業(yè)的苛刻要求。 無論需求是超高純度工藝氣體、高能量 激光或稀有和特種氣體應(yīng)用，都有合適的 API 產(chǎn)品提供必要的吞吐量和效率，以滿足 應(yīng)用程序的需求。

用于準分子激光器的 API 氣體凈化器提高了激光器的性能 延長激光機維修間隔。腐蝕性雜質(zhì) 選擇性地去除由激光作用產(chǎn)生的氣體以保持純度 在混合氣體中。請求 API 技術(shù)簡報第 118 號。產(chǎn)品包括 可滿足不同類型準分子激光系統(tǒng)的需求

適用于ArF和氟激光應(yīng)用

適用于在 ArF 和 F 上工作的激光器₂、LN₂冷卻型 C-2000 經(jīng)濟、易于使用且高度可靠。 C-2000 還易于安裝、作和維修。 自動 LN₂可以添加重新填充作為額外選項。 C-2000 還可以作為 API C-6000 型凈化器進行改裝，用于多氣體作。